用于MEMS热敏传感器中绝热层的多孔硅性能研究
용우MEMS열민전감기중절열층적다공규성능연구
Study on Performance of Porous Silicon Used in Thermal Isolation Layer of Micro Thermal Sensor
  • 万方数据
    材料工程 재료공정
    JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
    2008年 8期 9-12 ,共4页

    李昌青%胡明%杨海波

    리창청%호명%양해파

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    利用电化学方法制备了多孔硅,利用显微拉曼光谱法测量多孔硅样品的热导率和多孔硅中的残余应力,利用纳米压入测量仪测量多孔硅显微硬度与弹性模量.研究了多孔硅绝热性能和力学性能与微观结构的关系,认为通过控制制备条件可以得到绝热性能和力学性能满足MEMS热敏传感器结构性能要求的多孔硅.
    이용전화학방법제비료다공규,이용현미랍만광보법측량다공규양품적열도솔화다공규중적잔여응력,이용납미압입측량의측량다공규현미경도여탄성모량.연구료다공규절열성능화역학성능여미관결구적관계,인위통과공제제비조건가이득도절열성능화역학성능만족MEMS열민전감기결구성능요구적다공규.
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