均匀设计法在去钻污工艺优化中的应用
균균설계법재거찬오공예우화중적응용
Application of Uniform Design in the Technology Parameter Optimization of Desmear Process
  • 万方数据
    实验科学与技术 실험과학여기술
    EXPERIMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2010年 2期 39-42 ,共4页

    薛卫东%何为%王守绪%陈兆霞%张敏%陈浪%何波%万永东

    설위동%하위%왕수서%진조하%장민%진랑%하파%만영동

    均匀设计%回归分析%等离子体%去钻污 均勻設計%迴歸分析%等離子體%去鑽汙
    균균설계%회귀분석%등리자체%거찬오
    运用实验设计方法对等离子清洗挠性印制线路板去钻污工艺参数进行了优化.结果表明,用均匀设计法进行试验,仅需试验12次便可获得实验结果,通过非回归分析即可得到凹蚀量y(μm)与CF4含量、射频功率、真空度、温度、时间等因素的回归方程.其方程具有很好的拟合度,并取得了良好的清洗效果,为后续工序得到合格的金属化孔提供了保证.
    운용실험설계방법대등리자청세뇨성인제선로판거찬오공예삼수진행료우화.결과표명,용균균설계법진행시험,부수시험12차편가획득실험결과,통과비회귀분석즉가득도요식량y(μm)여CF4함량、사빈공솔、진공도、온도、시간등인소적회귀방정.기방정구유흔호적의합도,병취득료량호적청세효과,위후속공서득도합격적금속화공제공료보증.
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