CAJ | 학술논문

采用磁控法制备了CdS薄膜,研究工艺参数对样品沉积质量、沉积速率及晶体结构的影响.实验发现,在不同衬底上制备CdS薄膜时需要采取不同的后续工艺措施以获得较好的沉积质量.同时,制备样品的沉积速率随衬底类型、衬底温度、溅射功率及溅射气压的变化而变化.讨论并给出了工艺参数对上述实验结果的影响机制.X射线衍射谱显示,制备样品是六方和立方两种晶型的混合,沿(002)和(111)晶面择优取向生长.随溅射功率的增大和衬底温度的升高,两种晶型互相竞争生长并分别略微占优势.当溅射功率增大到200W,村底温度升高到200℃时,占优势晶型消失,薄膜择优取向特性变得更好.此外,随着溅射气压的增大,样品结晶质量下降,在0.5Pa时呈现明显非晶化现象.
채용자공법제비료CdS박막,연구공예삼수대양품침적질량、침적속솔급정체결구적영향.실험발현,재불동츤저상제비CdS박막시수요채취불동적후속공예조시이획득교호적침적질량.동시,제비양품적침적속솔수츤저류형、츤저온도、천사공솔급천사기압적변화이변화.토론병급출료공예삼수대상술실험결과적영향궤제.X사선연사보현시,제비양품시륙방화립방량충정형적혼합,연(002)화(111)정면택우취향생장.수천사공솔적증대화츤저온도적승고,량충정형호상경쟁생장병분별략미점우세.당천사공솔증대도200W,촌저온도승고도200℃시,점우세정형소실,박막택우취향특성변득경호.차외,수착천사기압적증대,양품결정질량하강,재0.5Pa시정현명현비정화현상.