西安电子科技大学学报(自然科学版)
西安電子科技大學學報(自然科學版)
서안전자과기대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY
2004年
1期
54-58
,共5页
马仲发%庄奕琪%杜磊%包军林%万长兴%李伟华
馬仲髮%莊奕琪%杜磊%包軍林%萬長興%李偉華
마중발%장혁기%두뢰%포군림%만장흥%리위화
栅氧化层%击穿%逾渗%模型
柵氧化層%擊穿%逾滲%模型
책양화층%격천%유삼%모형
综合E模型和1/E模型中两种不同的缺陷产生机制和逾渗理论,建立了栅氧化层击穿过程中缺陷产生和击穿触发的统一逾渗模型.该模型认为栅氧化层的击穿触发是由于氧化层中氧空位等缺陷所形成的定域态扩展化的结果,并对氧空位等缺陷的产生动力学进行了统一的描述,使得该模型无论在高场强还是低场强情况下所得的结果,均能较好地描述氧化层击穿过程,从而对长期以来有关栅氧化层击穿的E模型和1/E模型之争做出了较为合理的解释.
綜閤E模型和1/E模型中兩種不同的缺陷產生機製和逾滲理論,建立瞭柵氧化層擊穿過程中缺陷產生和擊穿觸髮的統一逾滲模型.該模型認為柵氧化層的擊穿觸髮是由于氧化層中氧空位等缺陷所形成的定域態擴展化的結果,併對氧空位等缺陷的產生動力學進行瞭統一的描述,使得該模型無論在高場彊還是低場彊情況下所得的結果,均能較好地描述氧化層擊穿過程,從而對長期以來有關柵氧化層擊穿的E模型和1/E模型之爭做齣瞭較為閤理的解釋.
종합E모형화1/E모형중량충불동적결함산생궤제화유삼이론,건립료책양화층격천과정중결함산생화격천촉발적통일유삼모형.해모형인위책양화층적격천촉발시유우양화층중양공위등결함소형성적정역태확전화적결과,병대양공위등결함적산생동역학진행료통일적묘술,사득해모형무론재고장강환시저장강정황하소득적결과,균능교호지묘술양화층격천과정,종이대장기이래유관책양화층격천적E모형화1/E모형지쟁주출료교위합리적해석.
