集美大学学报（自然科学版）
集美大學學報（自然科學版）
집미대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIMEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2005年
2期
160-163
,共4页
吴清鑫%于映%罗仲梓%陈光红%张春权%杨渭
吳清鑫%于映%囉仲梓%陳光紅%張春權%楊渭
오청흠%우영%라중재%진광홍%장춘권%양위
PECVD%氮化硅%聚酰亚胺%残余应力
PECVD%氮化硅%聚酰亞胺%殘餘應力
PECVD%담화규%취선아알%잔여응력
采用了等离子体增强化学气相沉积法(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)在聚酰亚胺(Polyimide,PI)牺牲层上生长氮化硅薄膜;利用微旋转结构测量氮化硅薄膜的残余应力;讨论沉积温度、射频功率、反应气体流量比等工艺参数对氮化硅薄膜的残余应力的影响,并把薄膜的残余应力分为热应力和本征应力加以分析,得出适合制作射频MEMS开关器件中的桥式梁的氮化硅薄膜的最佳工艺条件.
採用瞭等離子體增彊化學氣相沉積法(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)在聚酰亞胺(Polyimide,PI)犧牲層上生長氮化硅薄膜;利用微鏇轉結構測量氮化硅薄膜的殘餘應力;討論沉積溫度、射頻功率、反應氣體流量比等工藝參數對氮化硅薄膜的殘餘應力的影響,併把薄膜的殘餘應力分為熱應力和本徵應力加以分析,得齣適閤製作射頻MEMS開關器件中的橋式樑的氮化硅薄膜的最佳工藝條件.
채용료등리자체증강화학기상침적법(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)재취선아알(Polyimide,PI)희생층상생장담화규박막;이용미선전결구측량담화규박막적잔여응력;토론침적온도、사빈공솔、반응기체류량비등공예삼수대담화규박막적잔여응력적영향,병파박막적잔여응력분위열응력화본정응력가이분석,득출괄합제작사빈MEMS개관기건중적교식량적담화규박막적최가공예조건.
