国外油田工程
國外油田工程
국외유전공정
FOREIGN OILFIELD ENGINEERING
2005年
10期
36-37
,共2页
MEMS加速度传感器%质量体灵敏度
MEMS加速度傳感器%質量體靈敏度
MEMS가속도전감기%질량체령민도
尽管常规地震检波器发展已有50年的历史,体积变得很小,灵敏度很高,并且较好地压制地面噪声,但MEMS加速度传感器仍然以其直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应,逐渐成为新世纪地球物理勘探技术发展中的重要角色.文章对MEMS传感器进行了概述,对其结构与工作原理进行了简要分析.
儘管常規地震檢波器髮展已有50年的歷史,體積變得很小,靈敏度很高,併且較好地壓製地麵譟聲,但MEMS加速度傳感器仍然以其直接的數字輸齣、高的矢量保真度和良好的低頻響應,逐漸成為新世紀地毬物理勘探技術髮展中的重要角色.文章對MEMS傳感器進行瞭概述,對其結構與工作原理進行瞭簡要分析.
진관상규지진검파기발전이유50년적역사,체적변득흔소,령민도흔고,병차교호지압제지면조성,단MEMS가속도전감기잉연이기직접적수자수출、고적시량보진도화량호적저빈향응,축점성위신세기지구물리감탐기술발전중적중요각색.문장대MEMS전감기진행료개술,대기결구여공작원리진행료간요분석.
