生长温度对ZnO薄膜性能的影响
생장온도대ZnO박막성능적영향
Effect of Growth Temperature on Properties of ZnO Thin Films
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2006年 7期 1221-1224 ,共4页

    苏宏波%戴江南%蒲勇%王立%李璠%方文卿%江风益

    소굉파%대강남%포용%왕립%리번%방문경%강풍익

    ZnO%MOCVD%X射线双晶衍射%光致发光%应变 ZnO%MOCVD%X射線雙晶衍射%光緻髮光%應變
    ZnO%MOCVD%X사선쌍정연사%광치발광%응변
    采用常压金属有机化学气相沉积技术在Al2O3(0001)衬底上生长出高质量的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射ω和θ-2θ扫描、室温光致发光研究了不同生长温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.结果表明,随着生长温度的升高,ZnO薄膜的c轴晶格常数逐渐增大,a轴晶格常数逐渐变小,同时带隙相应逐渐增大.
    채용상압금속유궤화학기상침적기술재Al2O3(0001)츤저상생장출고질량적ZnO박막.용X사선쌍정연사ω화θ-2θ소묘、실온광치발광연구료불동생장온도대ZnO박막적결구、발광성능적영향.결과표명,수착생장온도적승고,ZnO박막적c축정격상수축점증대,a축정격상수축점변소,동시대극상응축점증대.
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