机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2007年
2期
127-131
,共5页
彭光含%杨学恒%辛洪政%刘济春%李旭
彭光含%楊學恆%辛洪政%劉濟春%李旭
팽광함%양학항%신홍정%류제춘%리욱
原子力显微镜%镜体%微悬臂%硬件设计
原子力顯微鏡%鏡體%微懸臂%硬件設計
원자력현미경%경체%미현비%경건설계
在成功研制高精度IPC-205B型STM基础上对硬件设计和软件配备进行改进,研制开发了更高精度和应用更广的原子力显微镜.阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍镜体的独特设计与控制过程、微悬臂的制作与工作过程.该样机采用简单适用的新型微悬臂,利用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,能够有效提高扫描精度、扩大扫描范围.该原子力显微镜的分辨力为:横向0.1 nm,纵向0.01 nm.给出该机型检测的几种样品的扫描图像.
在成功研製高精度IPC-205B型STM基礎上對硬件設計和軟件配備進行改進,研製開髮瞭更高精度和應用更廣的原子力顯微鏡.闡述該原子力顯微鏡的工作原理、組成及應用,詳細介紹鏡體的獨特設計與控製過程、微懸臂的製作與工作過程.該樣機採用簡單適用的新型微懸臂,利用掃描隧道顯微鏡檢測微懸臂的起伏,通過四維機械驅動和雙壓電陶瓷掃描,能夠有效提高掃描精度、擴大掃描範圍.該原子力顯微鏡的分辨力為:橫嚮0.1 nm,縱嚮0.01 nm.給齣該機型檢測的幾種樣品的掃描圖像.
재성공연제고정도IPC-205B형STM기출상대경건설계화연건배비진행개진,연제개발료경고정도화응용경엄적원자력현미경.천술해원자력현미경적공작원리、조성급응용,상세개소경체적독특설계여공제과정、미현비적제작여공작과정.해양궤채용간단괄용적신형미현비,이용소묘수도현미경검측미현비적기복,통과사유궤계구동화쌍압전도자소묘,능구유효제고소묘정도、확대소묘범위.해원자력현미경적분변력위:횡향0.1 nm,종향0.01 nm.급출해궤형검측적궤충양품적소묘도상.
