半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
6期
984-988
,共5页
张跃宗%冯士维%张弓长%王承栋%吕长志
張躍宗%馮士維%張弓長%王承棟%呂長誌
장약종%풍사유%장궁장%왕승동%려장지
欧姆接触%接触电阻率%退火%高温
歐姆接觸%接觸電阻率%退火%高溫
구모접촉%접촉전조솔%퇴화%고온
研究了在高温工作环境下Ti/Al/Ni/Au(15nm/220nm/40nm/50nm)四层复合金属层与n-GaN的欧姆接触的高温工作特性.退火后样品在500℃高温下工作仍能显示出良好的欧姆接触特性;接触电阻率随测量温度的增加而增大,且增加幅度与掺杂浓度有密切关系.掺杂浓度越高,其接触电阻率随测量温度的升高而增加越缓慢;重掺杂样品的Ti/Al/Ni/Au-n-GaN欧姆接触具有更佳的高温可靠性;当样品被施加500℃,1h的热应力后,其接触电阻率表现出不可恢复性增加.
研究瞭在高溫工作環境下Ti/Al/Ni/Au(15nm/220nm/40nm/50nm)四層複閤金屬層與n-GaN的歐姆接觸的高溫工作特性.退火後樣品在500℃高溫下工作仍能顯示齣良好的歐姆接觸特性;接觸電阻率隨測量溫度的增加而增大,且增加幅度與摻雜濃度有密切關繫.摻雜濃度越高,其接觸電阻率隨測量溫度的升高而增加越緩慢;重摻雜樣品的Ti/Al/Ni/Au-n-GaN歐姆接觸具有更佳的高溫可靠性;噹樣品被施加500℃,1h的熱應力後,其接觸電阻率錶現齣不可恢複性增加.
연구료재고온공작배경하Ti/Al/Ni/Au(15nm/220nm/40nm/50nm)사층복합금속층여n-GaN적구모접촉적고온공작특성.퇴화후양품재500℃고온하공작잉능현시출량호적구모접촉특성;접촉전조솔수측량온도적증가이증대,차증가폭도여참잡농도유밀절관계.참잡농도월고,기접촉전조솔수측량온도적승고이증가월완만;중참잡양품적Ti/Al/Ni/Au-n-GaN구모접촉구유경가적고온가고성;당양품피시가500℃,1h적열응력후,기접촉전조솔표현출불가회복성증가.
