电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2011年
8期
1869-1872
,共4页
张鉴%戚昊琛%徐栋梁%胡智文
張鑒%慼昊琛%徐棟樑%鬍智文
장감%척호침%서동량%호지문
硅刻蚀%工艺模拟%三维%表面演化算法
硅刻蝕%工藝模擬%三維%錶麵縯化算法
규각식%공예모의%삼유%표면연화산법
针对硅微加工中的刻蚀工艺模拟应用,提出了一种基于点元网格和单位法向最的三维表面演化算法,在形成的连续曲面上,以高斯积分法得到点元步进的单位法向量,实现三维表面的构建与推进.根据典型的刻蚀工艺及其物理模型,该表面演化算法能够用于硅等离子体刻蚀等与表面演化方向相关的工艺模拟.参照简单的各向同性刻蚀,利用该三维算法实现了不同视角的三维硅刻蚀工艺的模拟结果,通过与相关实验结果的对比,验证了这种新型三维表面演化算法对相关工艺描述的实用性与准确性.
針對硅微加工中的刻蝕工藝模擬應用,提齣瞭一種基于點元網格和單位法嚮最的三維錶麵縯化算法,在形成的連續麯麵上,以高斯積分法得到點元步進的單位法嚮量,實現三維錶麵的構建與推進.根據典型的刻蝕工藝及其物理模型,該錶麵縯化算法能夠用于硅等離子體刻蝕等與錶麵縯化方嚮相關的工藝模擬.參照簡單的各嚮同性刻蝕,利用該三維算法實現瞭不同視角的三維硅刻蝕工藝的模擬結果,通過與相關實驗結果的對比,驗證瞭這種新型三維錶麵縯化算法對相關工藝描述的實用性與準確性.
침대규미가공중적각식공예모의응용,제출료일충기우점원망격화단위법향최적삼유표면연화산법,재형성적련속곡면상,이고사적분법득도점원보진적단위법향량,실현삼유표면적구건여추진.근거전형적각식공예급기물리모형,해표면연화산법능구용우규등리자체각식등여표면연화방향상관적공예모의.삼조간단적각향동성각식,이용해삼유산법실현료불동시각적삼유규각식공예적모의결과,통과여상관실험결과적대비,험증료저충신형삼유표면연화산법대상관공예묘술적실용성여준학성.
