强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
5期
1103-1106
,共4页
等离子体源离子注入%蒙特卡罗方法%数值模拟%表面改性
等離子體源離子註入%矇特卡囉方法%數值模擬%錶麵改性
등리자체원리자주입%몽특잡라방법%수치모의%표면개성
通过SRIM软件对铪离子等离子体源离子注入铜进行了模拟.模拟了铪离子注入铜的核阻止本领、电子阻止本领、入射深度随能量的变化,以及在不同注入条件下铪离子的摩尔浓度分布,并对模拟结果进行了分析.结果显示:能量低于6MeV时核阻止本领占主导地位,高于6MeV时电子阻止本领成为主要的能量损失,并且离子注入过程中会出现能量沉积的Bragg峰和质量沉积区域较集中的现象,入射深度随能量的增加而增加.
通過SRIM軟件對鉿離子等離子體源離子註入銅進行瞭模擬.模擬瞭鉿離子註入銅的覈阻止本領、電子阻止本領、入射深度隨能量的變化,以及在不同註入條件下鉿離子的摩爾濃度分佈,併對模擬結果進行瞭分析.結果顯示:能量低于6MeV時覈阻止本領佔主導地位,高于6MeV時電子阻止本領成為主要的能量損失,併且離子註入過程中會齣現能量沉積的Bragg峰和質量沉積區域較集中的現象,入射深度隨能量的增加而增加.
통과SRIM연건대협리자등리자체원리자주입동진행료모의.모의료협리자주입동적핵조지본령、전자조지본령、입사심도수능량적변화,이급재불동주입조건하협리자적마이농도분포,병대모의결과진행료분석.결과현시:능량저우6MeV시핵조지본령점주도지위,고우6MeV시전자조지본령성위주요적능량손실,병차리자주입과정중회출현능량침적적Bragg봉화질량침적구역교집중적현상,입사심도수능량적증가이증가.
