贵州大学学报（自然科学版）
貴州大學學報（自然科學版）
귀주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF GUIZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2012年
4期
71-76
,共6页
OTFT%Ⅳ方程%开关比%杂质浓度上限%膜层厚度上限
OTFT%Ⅳ方程%開關比%雜質濃度上限%膜層厚度上限
OTFT%Ⅳ방정%개관비%잡질농도상한%막층후도상한
本文从物理角度推导并分析Brown方程的本质,并将之用于OTFT开关比的分析.首次通过引入关键参数K(杂质层电流/感应层电流)对OTFT开关比进行了分析,获得OTFT中有源层厚度和杂质浓度潜在的、可被允许的上限值.在此前提下,重点分析了有源层厚度、有效杂质浓度对OTFT开关比的影响.接着根据模拟分析的结果,提出一种有效且简易的判断OTFT是否逼近开关比极限的方法,并分别论证在逼近/远离开关比极限的情况下,降低NA和ds对开关比提升的有效性,及不同情况的OTFT应采取的优化措施.最后,文中给出了一定开关比约束下有效掺杂浓度/有源层厚度的临界关系曲线,它具有重要的实用意义,且进一步约束了OTFT中有源层厚度和有效杂质浓度的所允许的上限值.
本文從物理角度推導併分析Brown方程的本質,併將之用于OTFT開關比的分析.首次通過引入關鍵參數K(雜質層電流/感應層電流)對OTFT開關比進行瞭分析,穫得OTFT中有源層厚度和雜質濃度潛在的、可被允許的上限值.在此前提下,重點分析瞭有源層厚度、有效雜質濃度對OTFT開關比的影響.接著根據模擬分析的結果,提齣一種有效且簡易的判斷OTFT是否逼近開關比極限的方法,併分彆論證在逼近/遠離開關比極限的情況下,降低NA和ds對開關比提升的有效性,及不同情況的OTFT應採取的優化措施.最後,文中給齣瞭一定開關比約束下有效摻雜濃度/有源層厚度的臨界關繫麯線,它具有重要的實用意義,且進一步約束瞭OTFT中有源層厚度和有效雜質濃度的所允許的上限值.
본문종물리각도추도병분석Brown방정적본질,병장지용우OTFT개관비적분석.수차통과인입관건삼수K(잡질층전류/감응층전류)대OTFT개관비진행료분석,획득OTFT중유원층후도화잡질농도잠재적、가피윤허적상한치.재차전제하,중점분석료유원층후도、유효잡질농도대OTFT개관비적영향.접착근거모의분석적결과,제출일충유효차간역적판단OTFT시부핍근개관비겁한적방법,병분별론증재핍근/원리개관비겁한적정황하,강저NA화ds대개관비제승적유효성,급불동정황적OTFT응채취적우화조시.최후,문중급출료일정개관비약속하유효참잡농도/유원층후도적림계관계곡선,타구유중요적실용의의,차진일보약속료OTFT중유원층후도화유효잡질농도적소윤허적상한치.
