微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2002年
2期
53-57
,共5页
吴茂松%杨春生%茅昕辉%赵小林%蔡炳初
吳茂鬆%楊春生%茅昕輝%趙小林%蔡炳初
오무송%양춘생%모흔휘%조소림%채병초
微机电系统%电感器%SU-8%微加工
微機電繫統%電感器%SU-8%微加工
미궤전계통%전감기%SU-8%미가공
MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点,其用途或潜在用途相当广泛.为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器,在充分利用SU-8特点的基础上,结合使用正胶AZ-4000系列和负胶SU-8系列,新开发了UV-LIGA多层微加工工艺,它主要包括:在基片上溅射Cr/Cu作为电镀种子层,涂布正胶,紫外光刻得到电镀模具,电镀Cu和FeNi分别得到线圈的下层、中层和上层以及铁芯;在完成下层和中层后,分别进行一次负胶工艺以形成电绝缘层和后续结构的支撑平台,即涂布负胶覆盖较下层结构,光刻开出通往较上一层的通道并使SU-8聚合、交联以满足性能要求.实验表明该工艺是可行和实用的.它除了可用于螺线管电感器的加工,还可以用来加工其它三维结构的MEMS器件.
MEMS螺線管型電感器由于具有很多優點,其用途或潛在用途相噹廣汎.為瞭穫得高質量的MEMS螺線管型電感器,在充分利用SU-8特點的基礎上,結閤使用正膠AZ-4000繫列和負膠SU-8繫列,新開髮瞭UV-LIGA多層微加工工藝,它主要包括:在基片上濺射Cr/Cu作為電鍍種子層,塗佈正膠,紫外光刻得到電鍍模具,電鍍Cu和FeNi分彆得到線圈的下層、中層和上層以及鐵芯;在完成下層和中層後,分彆進行一次負膠工藝以形成電絕緣層和後續結構的支撐平檯,即塗佈負膠覆蓋較下層結構,光刻開齣通往較上一層的通道併使SU-8聚閤、交聯以滿足性能要求.實驗錶明該工藝是可行和實用的.它除瞭可用于螺線管電感器的加工,還可以用來加工其它三維結構的MEMS器件.
MEMS라선관형전감기유우구유흔다우점,기용도혹잠재용도상당엄범.위료획득고질량적MEMS라선관형전감기,재충분이용SU-8특점적기출상,결합사용정효AZ-4000계렬화부효SU-8계렬,신개발료UV-LIGA다층미가공공예,타주요포괄:재기편상천사Cr/Cu작위전도충자층,도포정효,자외광각득도전도모구,전도Cu화FeNi분별득도선권적하층、중층화상층이급철심;재완성하층화중층후,분별진행일차부효공예이형성전절연층화후속결구적지탱평태,즉도포부효복개교하층결구,광각개출통왕교상일층적통도병사SU-8취합、교련이만족성능요구.실험표명해공예시가행화실용적.타제료가용우라선관전감기적가공,환가이용래가공기타삼유결구적MEMS기건.
