硬磁盘基片研磨的运动分析
경자반기편연마적운동분석
Analysis on the Kinematices of the Lapping of Hard Magnetic Disk Substrate
  • 万方数据
    沈阳工业学院学报 침양공업학원학보
    JOURNAL OF SHENYANG INTITUTE OF TECHNOLOGY
    2004年 4期 14-18 ,共5页

    冯连东%吕玉山%哈兰涛

    풍련동%려옥산%합란도

    研磨%硬磁盘基片%材料的去除率%均匀性 研磨%硬磁盤基片%材料的去除率%均勻性
    연마%경자반기편%재료적거제솔%균균성
    分析了在硬磁盘基片研磨过程中的运动状况.建立了行星式研磨机的运动学模型.基于这个模型利用蒙特卡罗法分别对磨料切削轨迹、切痕方向的变化、基片表面的瞬态速度场和平均相对速度场等进行了数值模拟,并根据模拟结果研究讨论了在研磨中运动参量对基片表面的材料去除率(MRR)的分布均匀性、表面纹理和其它的质量因素等的影响规律.
    분석료재경자반기편연마과정중적운동상황.건립료행성식연마궤적운동학모형.기우저개모형이용몽특잡라법분별대마료절삭궤적、절흔방향적변화、기편표면적순태속도장화평균상대속도장등진행료수치모의,병근거모의결과연구토론료재연마중운동삼량대기편표면적재료거제솔(MRR)적분포균균성、표면문리화기타적질량인소등적영향규률.
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