微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
1期
51-55
,共5页
明安杰%李铁%刘文平%王跃林
明安傑%李鐵%劉文平%王躍林
명안걸%리철%류문평%왕약림
Pyrex7740玻璃%湿法刻蚀%MEMS
Pyrex7740玻璃%濕法刻蝕%MEMS
Pyrex7740파리%습법각식%MEMS
研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象.实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀比最小.在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率,当硝酸含量为10%时,刻蚀速率可以提高两倍左右.利用上述结果,实现了用一层TiW/Au掩膜制作多种不同深度的玻璃坑槽结构,为玻璃上不同深度沟道制作提供了一种新的方法.
研究瞭以TiW/Au為掩膜,在氫氟痠以及氫氟痠加硝痠溶液中Pyrex7740玻璃的濕法深刻蝕現象.實驗髮現,在氫氟痠中玻璃的刻蝕速率隨溶液溫度及濃度的升高而升高,室溫下縱/橫嚮側蝕比最小.在氫氟痠中加入少量硝痠後可以提高其刻蝕速率,噹硝痠含量為10%時,刻蝕速率可以提高兩倍左右.利用上述結果,實現瞭用一層TiW/Au掩膜製作多種不同深度的玻璃坑槽結構,為玻璃上不同深度溝道製作提供瞭一種新的方法.
연구료이TiW/Au위엄막,재경불산이급경불산가초산용액중Pyrex7740파리적습법심각식현상.실험발현,재경불산중파리적각식속솔수용액온도급농도적승고이승고,실온하종/횡향측식비최소.재경불산중가입소량초산후가이제고기각식속솔,당초산함량위10%시,각식속솔가이제고량배좌우.이용상술결과,실현료용일층TiW/Au엄막제작다충불동심도적파리갱조결구,위파리상불동심도구도제작제공료일충신적방법.
