摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2007年
4期
382-386
,共5页
林松盛%代明江%侯惠君%李洪武%朱霞高%林凯生%牛仕超
林鬆盛%代明江%侯惠君%李洪武%硃霞高%林凱生%牛仕超
림송성%대명강%후혜군%리홍무%주하고%림개생%우사초
气体离子源%非平衡磁控溅射%掺金属类金刚石膜%钛合金%摩擦磨损性能
氣體離子源%非平衡磁控濺射%摻金屬類金剛石膜%鈦閤金%摩抆磨損性能
기체리자원%비평형자공천사%참금속류금강석막%태합금%마찰마손성능
采用阳极层流型矩形气体离子源结合非平衡磁控溅射法在钛合金基体表面制备掺金属类金刚石(Me-DLC)薄膜,通过X射线光电子能谱仪、俄歇微探针、表面形貌仪及扫描电子显微镜等对薄膜结构进行表征,用SRV型摩擦磨损试验机评价其摩擦磨损性能.结果表明,类金刚石薄膜可以提高钛合金基体的承载能力和硬度,对基体材料起到有效的耐磨减摩作用,掺钨类金刚石薄膜的硬度及膜/基结合强度较高,具有良好的耐磨减摩性能,且在膜层承载能力范围内,载荷越高,DLC梯度薄膜的摩擦系数越小.
採用暘極層流型矩形氣體離子源結閤非平衡磁控濺射法在鈦閤金基體錶麵製備摻金屬類金剛石(Me-DLC)薄膜,通過X射線光電子能譜儀、俄歇微探針、錶麵形貌儀及掃描電子顯微鏡等對薄膜結構進行錶徵,用SRV型摩抆磨損試驗機評價其摩抆磨損性能.結果錶明,類金剛石薄膜可以提高鈦閤金基體的承載能力和硬度,對基體材料起到有效的耐磨減摩作用,摻鎢類金剛石薄膜的硬度及膜/基結閤彊度較高,具有良好的耐磨減摩性能,且在膜層承載能力範圍內,載荷越高,DLC梯度薄膜的摩抆繫數越小.
채용양겁층류형구형기체리자원결합비평형자공천사법재태합금기체표면제비참금속류금강석(Me-DLC)박막,통과X사선광전자능보의、아헐미탐침、표면형모의급소묘전자현미경등대박막결구진행표정,용SRV형마찰마손시험궤평개기마찰마손성능.결과표명,류금강석박막가이제고태합금기체적승재능력화경도,대기체재료기도유효적내마감마작용,참오류금강석박막적경도급막/기결합강도교고,구유량호적내마감마성능,차재막층승재능력범위내,재하월고,DLC제도박막적마찰계수월소.
