传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
7期
9-11,14
,共4页
选择性探测%痕量爆炸物探测%微硅梁%微悬臂梁%微电子机械系统
選擇性探測%痕量爆炸物探測%微硅樑%微懸臂樑%微電子機械繫統
선택성탐측%흔량폭작물탐측%미규량%미현비량%미전자궤계계통
利用MEMS传感器对被测物进行高选择性探测.对几种不同探测原理的MEMS痕量爆炸物传感器进行了分析与比较,指出其在选择性探测方面的不足与缺陷,提出了可提高选择性的解决方法.
利用MEMS傳感器對被測物進行高選擇性探測.對幾種不同探測原理的MEMS痕量爆炸物傳感器進行瞭分析與比較,指齣其在選擇性探測方麵的不足與缺陷,提齣瞭可提高選擇性的解決方法.
이용MEMS전감기대피측물진행고선택성탐측.대궤충불동탐측원리적MEMS흔량폭작물전감기진행료분석여비교,지출기재선택성탐측방면적불족여결함,제출료가제고선택성적해결방법.
