中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
1期
110-114
,共5页
X射线光学%X射线成像%KBA显微镜%掠入射反射成像%消像散系统
X射線光學%X射線成像%KBA顯微鏡%掠入射反射成像%消像散繫統
X사선광학%X사선성상%KBA현미경%략입사반사성상%소상산계통
近20年来,由于X射线光刻技术、空间技术以及激光引爆的惯性约束聚变(ICF)的过程诊断等的需求,X射线成像技术获得迅速发展.但是,由于常规的成像方法难以适应X射线波段,目前大多采用掠入射反射成像和编码孔径成像方法.KBA显微镜为掠入射非共轴X射线反射成像系统,而且四块反射镜是空间分布的,前两块反射镜和后两块反射镜之间并不是严格互相垂直的,这给像质分析带来相当大的困难.通常的光学CAD软件难于适应这种光学系统.因此设计了掠入射非共轴反射成像的KBA显微镜成像系统程序,并用该程序分析了该系统的综合误差. 物距公差为-0.4～+1 mm,掠入射角公差在-8″～0,双反射镜公差在-20″～0,弥散斑的变化在允许的范围内.
近20年來,由于X射線光刻技術、空間技術以及激光引爆的慣性約束聚變(ICF)的過程診斷等的需求,X射線成像技術穫得迅速髮展.但是,由于常規的成像方法難以適應X射線波段,目前大多採用掠入射反射成像和編碼孔徑成像方法.KBA顯微鏡為掠入射非共軸X射線反射成像繫統,而且四塊反射鏡是空間分佈的,前兩塊反射鏡和後兩塊反射鏡之間併不是嚴格互相垂直的,這給像質分析帶來相噹大的睏難.通常的光學CAD軟件難于適應這種光學繫統.因此設計瞭掠入射非共軸反射成像的KBA顯微鏡成像繫統程序,併用該程序分析瞭該繫統的綜閤誤差. 物距公差為-0.4～+1 mm,掠入射角公差在-8″～0,雙反射鏡公差在-20″～0,瀰散斑的變化在允許的範圍內.
근20년래,유우X사선광각기술、공간기술이급격광인폭적관성약속취변(ICF)적과정진단등적수구,X사선성상기술획득신속발전.단시,유우상규적성상방법난이괄응X사선파단,목전대다채용략입사반사성상화편마공경성상방법.KBA현미경위략입사비공축X사선반사성상계통,이차사괴반사경시공간분포적,전량괴반사경화후량괴반사경지간병불시엄격호상수직적,저급상질분석대래상당대적곤난.통상적광학CAD연건난우괄응저충광학계통.인차설계료략입사비공축반사성상적KBA현미경성상계통정서,병용해정서분석료해계통적종합오차. 물거공차위-0.4～+1 mm,략입사각공차재-8″～0,쌍반사경공차재-20″～0,미산반적변화재윤허적범위내.
