稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2010年
5期
871-873
,共3页
Fe96Nb4铁芯薄膜%软磁%微磁通门%双铁芯磁探头
Fe96Nb4鐵芯薄膜%軟磁%微磁通門%雙鐵芯磁探頭
Fe96Nb4철심박막%연자%미자통문%쌍철심자탐두
采用磁控溅射法制备一种适合用于硅基微磁通门的新型非晶Fe96Nb4软磁铁芯薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、振动样品磁强计测试薄膜的相组成、表面形貌、和磁滞回线,用双铁芯磁通门探头线圈对制作的铁芯薄膜进行试验.结果表明:随制备温度的升高,薄膜的缺陷明显减小,软磁性能显著改善.基片温度为630 K时制作的硅基Fe96Nb4铁芯薄膜的性能适合用于微磁通门铁芯材料.
採用磁控濺射法製備一種適閤用于硅基微磁通門的新型非晶Fe96Nb4軟磁鐵芯薄膜,併利用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、振動樣品磁彊計測試薄膜的相組成、錶麵形貌、和磁滯迴線,用雙鐵芯磁通門探頭線圈對製作的鐵芯薄膜進行試驗.結果錶明:隨製備溫度的升高,薄膜的缺陷明顯減小,軟磁性能顯著改善.基片溫度為630 K時製作的硅基Fe96Nb4鐵芯薄膜的性能適閤用于微磁通門鐵芯材料.
채용자공천사법제비일충괄합용우규기미자통문적신형비정Fe96Nb4연자철심박막,병이용X사선연사의、소묘전자현미경、진동양품자강계측시박막적상조성、표면형모、화자체회선,용쌍철심자통문탐두선권대제작적철심박막진행시험.결과표명:수제비온도적승고,박막적결함명현감소,연자성능현저개선.기편온도위630 K시제작적규기Fe96Nb4철심박막적성능괄합용우미자통문철심재료.