电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2010年
5期
12-16,25
,共6页
高速粘片机%电机选型计算%运动控制技术%PID
高速粘片機%電機選型計算%運動控製技術%PID
고속점편궤%전궤선형계산%운동공제기술%PID
论述了装片机晶片台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机构成了半闭环反馈控制系统,实现了晶片台的高速、高精度定位控制.
論述瞭裝片機晶片檯伺服電機選型計算和運動控製技術,採用伺服電機構成瞭半閉環反饋控製繫統,實現瞭晶片檯的高速、高精度定位控製.
논술료장편궤정편태사복전궤선형계산화운동공제기술,채용사복전궤구성료반폐배반궤공제계통,실현료정편태적고속、고정도정위공제.
