河北科技大学学报
河北科技大學學報
하북과기대학학보
JOURNAL OF THE HEBEI UNIVERSITY OF SCIENCE AND ECHNOLOGY
2011年
4期
380-383
,共4页
唐心亮%智兆华%刘玉岭%胡轶%刘效岩%王立冉
唐心亮%智兆華%劉玉嶺%鬍軼%劉效巖%王立冉
당심량%지조화%류옥령%호질%류효암%왕립염
碱性抛光液%工艺参数%铜布线平坦化%化学机械抛光
堿性拋光液%工藝參數%銅佈線平坦化%化學機械拋光
감성포광액%공예삼수%동포선평탄화%화학궤계포광
研究了铜化学机械平坦化的模型.通过研究分析,采用40 nm粒径的硅溶胶作为磨料,H2O2作为氧化剂,还包含螯合剂和FA/O表面活性剂作为抛光液.分析了工艺条件(包括压力、流量、转速、温度等)和抛光液(H2O2、有机碱、磨料粒径)对抛光过程的影响.通过实验结果,确定了相应的实验条件和抛光液来解决铜化学机械抛光过程中出现的碟形坑等问题,分析了表面活性剂对表面粗糙度的影响.
研究瞭銅化學機械平坦化的模型.通過研究分析,採用40 nm粒徑的硅溶膠作為磨料,H2O2作為氧化劑,還包含螯閤劑和FA/O錶麵活性劑作為拋光液.分析瞭工藝條件(包括壓力、流量、轉速、溫度等)和拋光液(H2O2、有機堿、磨料粒徑)對拋光過程的影響.通過實驗結果,確定瞭相應的實驗條件和拋光液來解決銅化學機械拋光過程中齣現的碟形坑等問題,分析瞭錶麵活性劑對錶麵粗糙度的影響.
연구료동화학궤계평탄화적모형.통과연구분석,채용40 nm립경적규용효작위마료,H2O2작위양화제,환포함오합제화FA/O표면활성제작위포광액.분석료공예조건(포괄압력、류량、전속、온도등)화포광액(H2O2、유궤감、마료립경)대포광과정적영향.통과실험결과,학정료상응적실험조건화포광액래해결동화학궤계포광과정중출현적설형갱등문제,분석료표면활성제대표면조조도적영향.
