真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
1期
11-14
,共4页
吴慎将%苏俊宏%施卫%王馨梅%徐均琪
吳慎將%囌俊宏%施衛%王馨梅%徐均琪
오신장%소준굉%시위%왕형매%서균기
外加偏置电场%无氢类金刚石%激光损伤%损伤形貌
外加偏置電場%無氫類金剛石%激光損傷%損傷形貌
외가편치전장%무경류금강석%격광손상%손상형모
研究了使用非平衡测控溅射技术沉积的类金刚石(DLC)薄膜其抗激光损伤能力；通过对比施加偏置电场前后薄膜的损伤情况,发现:DLC薄膜施加偏置电场后,薄膜的激光损伤区域内有大量丝状薄膜,损伤形貌存在明显不同,损伤面积减小；薄膜的激光损伤情况得到改善.实验结果显示,外加偏置电场对DLC薄膜的损伤有影响.认为:激光在DLC薄膜中激励产生的光生电子在电场的作用下产生快速漂移,间接降低了激光辐照区域内的局部能量密度,减缓了薄膜的石墨化,提高了DLC薄膜的抗激光损伤能力.
研究瞭使用非平衡測控濺射技術沉積的類金剛石(DLC)薄膜其抗激光損傷能力；通過對比施加偏置電場前後薄膜的損傷情況,髮現:DLC薄膜施加偏置電場後,薄膜的激光損傷區域內有大量絲狀薄膜,損傷形貌存在明顯不同,損傷麵積減小；薄膜的激光損傷情況得到改善.實驗結果顯示,外加偏置電場對DLC薄膜的損傷有影響.認為:激光在DLC薄膜中激勵產生的光生電子在電場的作用下產生快速漂移,間接降低瞭激光輻照區域內的跼部能量密度,減緩瞭薄膜的石墨化,提高瞭DLC薄膜的抗激光損傷能力.
연구료사용비평형측공천사기술침적적류금강석(DLC)박막기항격광손상능력；통과대비시가편치전장전후박막적손상정황,발현:DLC박막시가편치전장후,박막적격광손상구역내유대량사상박막,손상형모존재명현불동,손상면적감소；박막적격광손상정황득도개선.실험결과현시,외가편치전장대DLC박막적손상유영향.인위:격광재DLC박막중격려산생적광생전자재전장적작용하산생쾌속표이,간접강저료격광복조구역내적국부능량밀도,감완료박막적석묵화,제고료DLC박막적항격광손상능력.
