仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2012年
6期
16-18,21
,共4页
刘恒%何晓平%杜连明%刘清惓
劉恆%何曉平%杜連明%劉清惓
류항%하효평%두련명%류청권
微加速度计%力平衡%非线性误差%反馈
微加速度計%力平衡%非線性誤差%反饋
미가속도계%력평형%비선성오차%반궤
讨论了一种多梳齿力平衡式微机械加速度计表头系统工作原理.因加速度计制造中存在的间距不对称,提出通过调节正负反馈电压比的方法来减小输出非线性误差,并得到了调节的约束关系式.通过体硅深宽比刻蚀和微键合工艺制造了加速度计并进行了封装,闭环电路实验测试得到在未修正系数前,加速度计在量程为-60 ～65 g时最大非线性误差为-0.8％,修正后满量程最大非线性误差为0.08％.试验结果与理论分析能很好地吻合,验证了方法的有效性.
討論瞭一種多梳齒力平衡式微機械加速度計錶頭繫統工作原理.因加速度計製造中存在的間距不對稱,提齣通過調節正負反饋電壓比的方法來減小輸齣非線性誤差,併得到瞭調節的約束關繫式.通過體硅深寬比刻蝕和微鍵閤工藝製造瞭加速度計併進行瞭封裝,閉環電路實驗測試得到在未脩正繫數前,加速度計在量程為-60 ～65 g時最大非線性誤差為-0.8％,脩正後滿量程最大非線性誤差為0.08％.試驗結果與理論分析能很好地吻閤,驗證瞭方法的有效性.
토론료일충다소치력평형식미궤계가속도계표두계통공작원리.인가속도계제조중존재적간거불대칭,제출통과조절정부반궤전압비적방법래감소수출비선성오차,병득도료조절적약속관계식.통과체규심관비각식화미건합공예제조료가속도계병진행료봉장,폐배전로실험측시득도재미수정계수전,가속도계재량정위-60 ～65 g시최대비선성오차위-0.8％,수정후만량정최대비선성오차위0.08％.시험결과여이론분석능흔호지문합,험증료방법적유효성.
