军械工程学院学报
軍械工程學院學報
군계공정학원학보
JOURNAL OF ORDNANCE ENGINEERING COLLEGE
2006年
5期
27-31
,共5页
祁树锋%杨洁%刘红兵%巨楷如%刘尚合
祁樹鋒%楊潔%劉紅兵%巨楷如%劉尚閤
기수봉%양길%류홍병%거해여%류상합
ESD%微电子器件%潜在性失效
ESD%微電子器件%潛在性失效
ESD%미전자기건%잠재성실효
静电放电(ESD)潜在性失效问题是当前微电子工业面临的可靠性问题之一,并且越来越引起人们的重视.国内外学者在微电子器件ESD潜在性失效的检测及探讨失效机理方面的研究取得了较大的进展.研究表明:MOS电路等微电子器件,在ESD作用下确实存在潜在性失效问题.因此,开展ESD潜在性失效研究具有重要意义.
靜電放電(ESD)潛在性失效問題是噹前微電子工業麵臨的可靠性問題之一,併且越來越引起人們的重視.國內外學者在微電子器件ESD潛在性失效的檢測及探討失效機理方麵的研究取得瞭較大的進展.研究錶明:MOS電路等微電子器件,在ESD作用下確實存在潛在性失效問題.因此,開展ESD潛在性失效研究具有重要意義.
정전방전(ESD)잠재성실효문제시당전미전자공업면림적가고성문제지일,병차월래월인기인문적중시.국내외학자재미전자기건ESD잠재성실효적검측급탐토실효궤리방면적연구취득료교대적진전.연구표명:MOS전로등미전자기건,재ESD작용하학실존재잠재성실효문제.인차,개전ESD잠재성실효연구구유중요의의.
