电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2007年
1期
43-45
,共3页
无机非金属材料%AZO薄膜%组织结构%光电性能
無機非金屬材料%AZO薄膜%組織結構%光電性能
무궤비금속재료%AZO박막%조직결구%광전성능
采用射频溅射工艺制备了Zn1-xAlxO透明导电薄膜.通过XRD、UV透射和电学性能测试等分析手段,研究了Al浓度对薄膜的组织结构和光电性能的影响规律.结果表明:薄膜具有c轴择优取向,随着Al浓度的增加,(002)衍射峰向高角度移动,峰强度逐渐减弱,x(Al)为15%掺杂极限浓度.x(Al)为2%时,薄膜电阻率是3.4×10-4Ω·cm.随着掺杂量x(Al)从0增加到20%,薄膜的禁带宽度从3.34 eV增加到4.0 eV.
採用射頻濺射工藝製備瞭Zn1-xAlxO透明導電薄膜.通過XRD、UV透射和電學性能測試等分析手段,研究瞭Al濃度對薄膜的組織結構和光電性能的影響規律.結果錶明:薄膜具有c軸擇優取嚮,隨著Al濃度的增加,(002)衍射峰嚮高角度移動,峰彊度逐漸減弱,x(Al)為15%摻雜極限濃度.x(Al)為2%時,薄膜電阻率是3.4×10-4Ω·cm.隨著摻雜量x(Al)從0增加到20%,薄膜的禁帶寬度從3.34 eV增加到4.0 eV.
채용사빈천사공예제비료Zn1-xAlxO투명도전박막.통과XRD、UV투사화전학성능측시등분석수단,연구료Al농도대박막적조직결구화광전성능적영향규률.결과표명:박막구유c축택우취향,수착Al농도적증가,(002)연사봉향고각도이동,봉강도축점감약,x(Al)위15%참잡겁한농도.x(Al)위2%시,박막전조솔시3.4×10-4Ω·cm.수착참잡량x(Al)종0증가도20%,박막적금대관도종3.34 eV증가도4.0 eV.
