CAJ | 학술논문

针对当前电容式微加速度计量程不高、开环模式非线性误差大的特点,根据力学理论和电路读出原理,并基于非线性特性中最大可测量加速度、初始工作点和吸合点与动定电极间距d的变化规律,提出了电容式微加速度计非线性模型.模型指出,随着输出电压的增加,可测量加速度近似成线性增加,在靠近最大可测量加速度αmax时斜率增大,其后随输出电压的增加而减小至吸合点;αmax由d和微结构梁弹性常数与质量之比λ决定,且d的作用优于λ;d在小于初始工作点时加速度计不能工作,该点由传感头参数η决定,且η的最佳取值范围为1×1019～2×1019,此时准静态条件下吸合点大于整个动电极行程的95%.该模型的提出对开环式加速度计的非线性误差纠正提供了理论支持,对加速度计的结构设计具有参考价值.
침대당전전용식미가속도계량정불고、개배모식비선성오차대적특점,근거역학이론화전로독출원리,병기우비선성특성중최대가측량가속도、초시공작점화흡합점여동정전겁간거d적변화규률,제출료전용식미가속도계비선성모형.모형지출,수착수출전압적증가,가측량가속도근사성선성증가,재고근최대가측량가속도αmax시사솔증대,기후수수출전압적증가이감소지흡합점;αmax유d화미결구량탄성상수여질량지비λ결정,차d적작용우우λ;d재소우초시공작점시가속도계불능공작,해점유전감두삼수η결정,차η적최가취치범위위1×1019～2×1019,차시준정태조건하흡합점대우정개동전겁행정적95%.해모형적제출대개배식가속도계적비선성오차규정제공료이론지지,대가속도계적결구설계구유삼고개치.