压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2007年
6期
641-643
,共3页
田文杰%程红亚%宁永怀%崔媛媛%鄂然
田文傑%程紅亞%寧永懷%崔媛媛%鄂然
전문걸%정홍아%저영부%최원원%악연
有限元法%多电极石英谐振器%力-频特性%非线性度
有限元法%多電極石英諧振器%力-頻特性%非線性度
유한원법%다전겁석영해진기%력-빈특성%비선성도
利用有限元法分析了同一圆形晶体基片上不同区域的应力分布,通过蒸镀电极的方法证实了理论分析结果的正确性.在此基础上,根据晶体振动的限波理论,设计制作了单基多电极石英晶体谐振器,由此构成的差频式力敏感元件的力-频灵敏度系数可达251.9 Hz/N,输出特性非线性度小于0.5%满刻度(FS).
利用有限元法分析瞭同一圓形晶體基片上不同區域的應力分佈,通過蒸鍍電極的方法證實瞭理論分析結果的正確性.在此基礎上,根據晶體振動的限波理論,設計製作瞭單基多電極石英晶體諧振器,由此構成的差頻式力敏感元件的力-頻靈敏度繫數可達251.9 Hz/N,輸齣特性非線性度小于0.5%滿刻度(FS).
이용유한원법분석료동일원형정체기편상불동구역적응력분포,통과증도전겁적방법증실료이론분석결과적정학성.재차기출상,근거정체진동적한파이론,설계제작료단기다전겁석영정체해진기,유차구성적차빈식력민감원건적력-빈령민도계수가체251.9 Hz/N,수출특성비선성도소우0.5%만각도(FS).
