表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2008年
3期
9-11,32
,共4页
谢红梅%张碧云%卢春灿%聂朝胤
謝紅梅%張碧雲%盧春燦%聶朝胤
사홍매%장벽운%로춘찬%섭조윤
配副件%TiN薄膜%摩擦学特性
配副件%TiN薄膜%摩抆學特性
배부건%TiN박막%마찰학특성
多弧离子镀TiN薄膜具有广泛的应用.采用多弧离子镀技术在不锈钢衬底表面沉积了TiN薄膜.用显微硬度计测试了TiN薄膜的硬度,用往复球-盘式摩擦磨损试验机评价了在GCr15和Si3N4两种不同配副件及空气中干摩擦条件下TiN薄膜的摩擦学性能,用表面轮廓仪测试了磨痕处的磨痕轮廓,用配有能谱仪(EDS)的扫描电镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)观察和测试了磨痕形貌和磨痕处主要化学元素组成,用金相显微镜观察了配副件磨损表面形貌.结果表明:在不同配副件条件下,TiN薄膜的摩擦因数随速度和载荷的增加均出现了降低的趋势.而在相同速度和载荷下,以GCr15为配副件时TiN薄膜的摩擦因数小于以Si3N4为配副件时的摩擦因数.以Si3N4为配副件时TiN薄膜主要表现为磨粒磨损.以GCr15为配副件时TiN薄膜几乎没有磨损,而配副件GCr15主要表现为磨粒与粘着磨损.
多弧離子鍍TiN薄膜具有廣汎的應用.採用多弧離子鍍技術在不鏽鋼襯底錶麵沉積瞭TiN薄膜.用顯微硬度計測試瞭TiN薄膜的硬度,用往複毬-盤式摩抆磨損試驗機評價瞭在GCr15和Si3N4兩種不同配副件及空氣中榦摩抆條件下TiN薄膜的摩抆學性能,用錶麵輪廓儀測試瞭磨痕處的磨痕輪廓,用配有能譜儀(EDS)的掃描電鏡(SEM)和X射線光電子能譜(XPS)觀察和測試瞭磨痕形貌和磨痕處主要化學元素組成,用金相顯微鏡觀察瞭配副件磨損錶麵形貌.結果錶明:在不同配副件條件下,TiN薄膜的摩抆因數隨速度和載荷的增加均齣現瞭降低的趨勢.而在相同速度和載荷下,以GCr15為配副件時TiN薄膜的摩抆因數小于以Si3N4為配副件時的摩抆因數.以Si3N4為配副件時TiN薄膜主要錶現為磨粒磨損.以GCr15為配副件時TiN薄膜幾乎沒有磨損,而配副件GCr15主要錶現為磨粒與粘著磨損.
다호리자도TiN박막구유엄범적응용.채용다호리자도기술재불수강츤저표면침적료TiN박막.용현미경도계측시료TiN박막적경도,용왕복구-반식마찰마손시험궤평개료재GCr15화Si3N4량충불동배부건급공기중간마찰조건하TiN박막적마찰학성능,용표면륜곽의측시료마흔처적마흔륜곽,용배유능보의(EDS)적소묘전경(SEM)화X사선광전자능보(XPS)관찰화측시료마흔형모화마흔처주요화학원소조성,용금상현미경관찰료배부건마손표면형모.결과표명:재불동배부건조건하,TiN박막적마찰인수수속도화재하적증가균출현료강저적추세.이재상동속도화재하하,이GCr15위배부건시TiN박막적마찰인수소우이Si3N4위배부건시적마찰인수.이Si3N4위배부건시TiN박막주요표현위마립마손.이GCr15위배부건시TiN박막궤호몰유마손,이배부건GCr15주요표현위마립여점착마손.
