电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2010年
5期
415-419
,共5页
吕建国%陈学梅%朱剑博%黄凯%宋学萍%孙兆奇
呂建國%陳學梅%硃劍博%黃凱%宋學萍%孫兆奇
려건국%진학매%주검박%황개%송학평%손조기
Na掺杂ZnO薄膜%AFM%多重分形%粗糙度
Na摻雜ZnO薄膜%AFM%多重分形%粗糙度
Na참잡ZnO박막%AFM%다중분형%조조도
用溶胶-凝胶法在Si(111)基片上制备Na掺杂ZnO薄膜,利用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的表面形貌,采用多重分形理论定量表征薄膜的AFM图像.结果显示:随着Na含量的增加,薄膜平均颗粒尺寸逐渐增大,表面RMS粗糙度从7.4 nm增大到44.4 nm,分形谱宽Δα从0.059增大到0.200,说明薄膜表面高度分布不均匀程度逐渐增大;所有样品的Δf值均大于零,表明薄膜表面沉积于最高峰的原子数多于最低谷的原子数.
用溶膠-凝膠法在Si(111)基片上製備Na摻雜ZnO薄膜,利用原子力顯微鏡(AFM)觀察薄膜的錶麵形貌,採用多重分形理論定量錶徵薄膜的AFM圖像.結果顯示:隨著Na含量的增加,薄膜平均顆粒呎吋逐漸增大,錶麵RMS粗糙度從7.4 nm增大到44.4 nm,分形譜寬Δα從0.059增大到0.200,說明薄膜錶麵高度分佈不均勻程度逐漸增大;所有樣品的Δf值均大于零,錶明薄膜錶麵沉積于最高峰的原子數多于最低穀的原子數.
용용효-응효법재Si(111)기편상제비Na참잡ZnO박막,이용원자력현미경(AFM)관찰박막적표면형모,채용다중분형이론정량표정박막적AFM도상.결과현시:수착Na함량적증가,박막평균과립척촌축점증대,표면RMS조조도종7.4 nm증대도44.4 nm,분형보관Δα종0.059증대도0.200,설명박막표면고도분포불균균정도축점증대;소유양품적Δf치균대우령,표명박막표면침적우최고봉적원자수다우최저곡적원자수.
