功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
12期
2060-2063
,共4页
蔡红%沈鸿烈%黄海宾%唐正霞%鲁林峰%沈剑沧
蔡紅%瀋鴻烈%黃海賓%唐正霞%魯林峰%瀋劍滄
채홍%침홍렬%황해빈%당정하%로림봉%침검창
多孔硅%高温退火%拉曼谱%形核理论
多孔硅%高溫退火%拉曼譜%形覈理論
다공규%고온퇴화%랍만보%형핵이론
采用电化学腐蚀的方法制备了不同孔径的多孔硅薄膜样品,并在1050℃高温下进行了退火.采用扫描电镜和拉曼光谱对多孔硅退火前后结构的变化进行了观察,根据晶体形核理论分析了孔径变化的机理,并从热力学角度对其微观机制进行了讨论.实验和理论分析的结果均表明,多孔硅的初始孔径存在一个临界值,初始孔径小于此临界值时,孔在高温退火中有收缩的趋势;反之,初始孔径大于此临界值时,孔有变大的趋势.
採用電化學腐蝕的方法製備瞭不同孔徑的多孔硅薄膜樣品,併在1050℃高溫下進行瞭退火.採用掃描電鏡和拉曼光譜對多孔硅退火前後結構的變化進行瞭觀察,根據晶體形覈理論分析瞭孔徑變化的機理,併從熱力學角度對其微觀機製進行瞭討論.實驗和理論分析的結果均錶明,多孔硅的初始孔徑存在一箇臨界值,初始孔徑小于此臨界值時,孔在高溫退火中有收縮的趨勢;反之,初始孔徑大于此臨界值時,孔有變大的趨勢.
채용전화학부식적방법제비료불동공경적다공규박막양품,병재1050℃고온하진행료퇴화.채용소묘전경화랍만광보대다공규퇴화전후결구적변화진행료관찰,근거정체형핵이론분석료공경변화적궤리,병종열역학각도대기미관궤제진행료토론.실험화이론분석적결과균표명,다공규적초시공경존재일개림계치,초시공경소우차림계치시,공재고온퇴화중유수축적추세;반지,초시공경대우차림계치시,공유변대적추세.
