哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
1期
78-81
,共4页
李婷%王颖%陈宇贤%高松松%程超
李婷%王穎%陳宇賢%高鬆鬆%程超
리정%왕영%진우현%고송송%정초
LIGBT%沟槽%击穿电压%导通电阻%导通压降
LIGBT%溝槽%擊穿電壓%導通電阻%導通壓降
LIGBT%구조%격천전압%도통전조%도통압강
横向绝缘栅双极晶体管(LIGBT)采用少数载流子的注入来降低导通电阻,完成了5μm外延层上普通LIGBT(C - LIGBT)、3μm外延层上的Trench Gate LIGBT( TG - LIGBT)设计及仿真.研究了利用沟槽结构改善LIGBT的正向特性和利用RESURF技术改善TG - LIGBT的反向特性.通过Silvaco TCAD软件验证了了击穿电压大于500 V的两种结构LIGBT设计,实现了导通压降为1.0V,薄外延层上小元胞尺寸,且有低导通电阻、大饱和电流的TG-LIGBT器件.
橫嚮絕緣柵雙極晶體管(LIGBT)採用少數載流子的註入來降低導通電阻,完成瞭5μm外延層上普通LIGBT(C - LIGBT)、3μm外延層上的Trench Gate LIGBT( TG - LIGBT)設計及倣真.研究瞭利用溝槽結構改善LIGBT的正嚮特性和利用RESURF技術改善TG - LIGBT的反嚮特性.通過Silvaco TCAD軟件驗證瞭瞭擊穿電壓大于500 V的兩種結構LIGBT設計,實現瞭導通壓降為1.0V,薄外延層上小元胞呎吋,且有低導通電阻、大飽和電流的TG-LIGBT器件.
횡향절연책쌍겁정체관(LIGBT)채용소수재류자적주입래강저도통전조,완성료5μm외연층상보통LIGBT(C - LIGBT)、3μm외연층상적Trench Gate LIGBT( TG - LIGBT)설계급방진.연구료이용구조결구개선LIGBT적정향특성화이용RESURF기술개선TG - LIGBT적반향특성.통과Silvaco TCAD연건험증료료격천전압대우500 V적량충결구LIGBT설계,실현료도통압강위1.0V,박외연층상소원포척촌,차유저도통전조、대포화전류적TG-LIGBT기건.
