激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2003年
4期
368-370
,共3页
卢向东%傅克祥%王植恒%麻健勇
盧嚮東%傅剋祥%王植恆%痳健勇
로향동%부극상%왕식항%마건용
亚波长正弦介质光栅%反射型1/4波片%方位角%偏振光
亞波長正絃介質光柵%反射型1/4波片%方位角%偏振光
아파장정현개질광책%반사형1/4파편%방위각%편진광
采用扩展边界条件法,得出亚波长正弦介质光栅正入射反射型1/4波片的结构参数.发现在一定精度范围内TE波与TM波的相位差能够在一段较大的槽深区域满足设计要求,从而降低了实际控制刻蚀深度的难度.讨论了线偏振光转化为圆偏振光的方位角问题.
採用擴展邊界條件法,得齣亞波長正絃介質光柵正入射反射型1/4波片的結構參數.髮現在一定精度範圍內TE波與TM波的相位差能夠在一段較大的槽深區域滿足設計要求,從而降低瞭實際控製刻蝕深度的難度.討論瞭線偏振光轉化為圓偏振光的方位角問題.
채용확전변계조건법,득출아파장정현개질광책정입사반사형1/4파편적결구삼수.발현재일정정도범위내TE파여TM파적상위차능구재일단교대적조심구역만족설계요구,종이강저료실제공제각식심도적난도.토론료선편진광전화위원편진광적방위각문제.
