硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2005年
4期
443-446
,共4页
吴守军%成来飞%张立同%徐永东%沈季雄
吳守軍%成來飛%張立同%徐永東%瀋季雄
오수군%성래비%장립동%서영동%침계웅
碳化硅涂层%形成机理%缺陷控制
碳化硅塗層%形成機理%缺陷控製
탄화규도층%형성궤리%결함공제
利用扫描电镜对化学气相沉积碳化硅防氧化涂层的表面和断口进行观察,探讨了涂层裂纹、涂层网状缺陷和涂层面缺陷的形成机理.从涂层沉积工艺角度出发,对涂层缺陷控制进行探索,慢速沉积对上述涂层缺陷,特别是面缺陷的控制有显著效果,能获得无面缺陷的多层涂层.氧化实验结果表明:具有慢沉积多层涂层的三维C/SiC在1 300℃空气中表现为缓慢的氧化质量增加.
利用掃描電鏡對化學氣相沉積碳化硅防氧化塗層的錶麵和斷口進行觀察,探討瞭塗層裂紋、塗層網狀缺陷和塗層麵缺陷的形成機理.從塗層沉積工藝角度齣髮,對塗層缺陷控製進行探索,慢速沉積對上述塗層缺陷,特彆是麵缺陷的控製有顯著效果,能穫得無麵缺陷的多層塗層.氧化實驗結果錶明:具有慢沉積多層塗層的三維C/SiC在1 300℃空氣中錶現為緩慢的氧化質量增加.
이용소묘전경대화학기상침적탄화규방양화도층적표면화단구진행관찰,탐토료도층렬문、도층망상결함화도층면결함적형성궤리.종도층침적공예각도출발,대도층결함공제진행탐색,만속침적대상술도층결함,특별시면결함적공제유현저효과,능획득무면결함적다층도층.양화실험결과표명:구유만침적다층도층적삼유C/SiC재1 300℃공기중표현위완만적양화질량증가.
