电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2006年
8期
1549-1552
,共4页
多晶硅薄膜%热扩散率%瞬态特性
多晶硅薄膜%熱擴散率%瞬態特性
다정규박막%열확산솔%순태특성
本文提出了一种表面加工多晶硅薄膜的在线测试结构.模型综合考虑了辐射、对流以及向衬底的传热等因素的影响,通过分析两个长度不同但宽度与厚度相同的梁在相同加热电流下的瞬态电阻变化特性,来提取多晶硅薄膜的热扩散系数.用ANSYS软件验证了该模型的正确性,通过实验测得表面加工多晶硅薄膜的热扩散率为1.059×10-5±3×10-6m2/s.
本文提齣瞭一種錶麵加工多晶硅薄膜的在線測試結構.模型綜閤攷慮瞭輻射、對流以及嚮襯底的傳熱等因素的影響,通過分析兩箇長度不同但寬度與厚度相同的樑在相同加熱電流下的瞬態電阻變化特性,來提取多晶硅薄膜的熱擴散繫數.用ANSYS軟件驗證瞭該模型的正確性,通過實驗測得錶麵加工多晶硅薄膜的熱擴散率為1.059×10-5±3×10-6m2/s.
본문제출료일충표면가공다정규박막적재선측시결구.모형종합고필료복사、대류이급향츤저적전열등인소적영향,통과분석량개장도불동단관도여후도상동적량재상동가열전류하적순태전조변화특성,래제취다정규박막적열확산계수.용ANSYS연건험증료해모형적정학성,통과실험측득표면가공다정규박막적열확산솔위1.059×10-5±3×10-6m2/s.
