功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
1期
103-106
,共4页
MEMS%冲击失效%可靠度
MEMS%遲擊失效%可靠度
MEMS%충격실효%가고도
由于MEMS器件的可靠性成为MEMS产品商业化过程中一个重要问题,而冲击断裂是导致器件失效的一个重要原因.本文主要研究多晶硅微悬臂梁在冲击条件下的可靠性,文中阐述了断裂失效机理,并使用应力一强度模型对可靠度进行建模.通过实验统计在各种加速度冲击下的可靠度,并将实验实测值与理论值进行对比.
由于MEMS器件的可靠性成為MEMS產品商業化過程中一箇重要問題,而遲擊斷裂是導緻器件失效的一箇重要原因.本文主要研究多晶硅微懸臂樑在遲擊條件下的可靠性,文中闡述瞭斷裂失效機理,併使用應力一彊度模型對可靠度進行建模.通過實驗統計在各種加速度遲擊下的可靠度,併將實驗實測值與理論值進行對比.
유우MEMS기건적가고성성위MEMS산품상업화과정중일개중요문제,이충격단렬시도치기건실효적일개중요원인.본문주요연구다정규미현비량재충격조건하적가고성,문중천술료단렬실효궤리,병사용응력일강도모형대가고도진행건모.통과실험통계재각충가속도충격하적가고도,병장실험실측치여이론치진행대비.
