化学气相输运法制备ZnO晶体
화학기상수운법제비ZnO정체
Synthesis of ZnO Crystals by Chemical Vapor Transport Method
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2009年 2期 346-349,353 ,共5页

    韦志仁%李振军%高平%尹利君%黄存新%张利明%姚金宝

    위지인%리진군%고평%윤리군%황존신%장리명%요금보

    ZnO晶体%气相输运%制备 ZnO晶體%氣相輸運%製備
    ZnO정체%기상수운%제비
    本文采用化学气相输运法在常压开放系统中以(0001)蓝宝石为基片制备出定向生长的ZnO晶体.以ZnO粉体为原料,NH4Cl为输运气体,O2和H2O为反应气体,加入适量的HCl作刻蚀性气体,通过调节NH4Cl输运量,获得两种不同生长方向的ZnO晶体,分别为(1010)方向和(0002)方向.(0002)方向上生长的晶体呈现六角片状,a、b轴生长速度明显高于c轴方向,晶体在基片上呈外延生长,大面积显露c面,且和蓝宝石c面平行.文中对O2、H2O、NH4Cl、HCl在晶体的生长中的作用和生长机制进行了讨论.
    본문채용화학기상수운법재상압개방계통중이(0001)람보석위기편제비출정향생장적ZnO정체.이ZnO분체위원료,NH4Cl위수운기체,O2화H2O위반응기체,가입괄량적HCl작각식성기체,통과조절NH4Cl수운량,획득량충불동생장방향적ZnO정체,분별위(1010)방향화(0002)방향.(0002)방향상생장적정체정현륙각편상,a、b축생장속도명현고우c축방향,정체재기편상정외연생장,대면적현로c면,차화람보석c면평행.문중대O2、H2O、NH4Cl、HCl재정체적생장중적작용화생장궤제진행료토론.
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