光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2009年
7期
100-106
,共7页
斯托克斯参量%分振幅%椭偏参量%薄膜测量%椭偏测厚法
斯託剋斯參量%分振幅%橢偏參量%薄膜測量%橢偏測厚法
사탁극사삼량%분진폭%타편삼량%박막측량%타편측후법
为了实现对纳米级薄膜的快速测量,运用了基于分振幅斯托克斯参量测量的椭偏测厚的方法,对该方法中的原理.计算和参量测量方法进行研究,并构建了实验系统.首先,设计了一个光路在同一平面上的分振幅斯托克斯参量测量装置,用偏振片和1/4波片组合产生已知的偏振态来定标该装置,用4个性能一致的光电探测器实现快速测量光束的斯托克斯参量.然后用实验系统测量纳米级薄膜样品的入射和反射偏振光的斯托克斯参量,求得椭偏参量ψ和Δ,再求得薄膜样品的厚度d和折射率n.讨论了斯托克斯参量测量的误差问题,最后与常用的消光法椭偏仪作了对比测量实验.测量结果与椭偏消光法比较,d和n的相关系数均大于85%,说明两仪器有很好的一致性.实验研究表明,该方法通过测量入射光和反射光的偏振态,能快速测量纳米级薄膜的参数.系统构建容易,调节方便,定标简单.
為瞭實現對納米級薄膜的快速測量,運用瞭基于分振幅斯託剋斯參量測量的橢偏測厚的方法,對該方法中的原理.計算和參量測量方法進行研究,併構建瞭實驗繫統.首先,設計瞭一箇光路在同一平麵上的分振幅斯託剋斯參量測量裝置,用偏振片和1/4波片組閤產生已知的偏振態來定標該裝置,用4箇性能一緻的光電探測器實現快速測量光束的斯託剋斯參量.然後用實驗繫統測量納米級薄膜樣品的入射和反射偏振光的斯託剋斯參量,求得橢偏參量ψ和Δ,再求得薄膜樣品的厚度d和摺射率n.討論瞭斯託剋斯參量測量的誤差問題,最後與常用的消光法橢偏儀作瞭對比測量實驗.測量結果與橢偏消光法比較,d和n的相關繫數均大于85%,說明兩儀器有很好的一緻性.實驗研究錶明,該方法通過測量入射光和反射光的偏振態,能快速測量納米級薄膜的參數.繫統構建容易,調節方便,定標簡單.
위료실현대납미급박막적쾌속측량,운용료기우분진폭사탁극사삼량측량적타편측후적방법,대해방법중적원리.계산화삼량측량방법진행연구,병구건료실험계통.수선,설계료일개광로재동일평면상적분진폭사탁극사삼량측량장치,용편진편화1/4파편조합산생이지적편진태래정표해장치,용4개성능일치적광전탐측기실현쾌속측량광속적사탁극사삼량.연후용실험계통측량납미급박막양품적입사화반사편진광적사탁극사삼량,구득타편삼량ψ화Δ,재구득박막양품적후도d화절사솔n.토론료사탁극사삼량측량적오차문제,최후여상용적소광법타편의작료대비측량실험.측량결과여타편소광법비교,d화n적상관계수균대우85%,설명량의기유흔호적일치성.실험연구표명,해방법통과측량입사광화반사광적편진태,능쾌속측량납미급박막적삼수.계통구건용역,조절방편,정표간단.
