传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
1期
55-57,61
,共4页
真空蒸发%氧化%热处理%SnO2薄膜%La掺杂%气敏特性
真空蒸髮%氧化%熱處理%SnO2薄膜%La摻雜%氣敏特性
진공증발%양화%열처리%SnO2박막%La참잡%기민특성
用真空热蒸发两步法在玻璃衬底制备SnO2和La掺杂SnO2薄膜.研究氧化、热处理工艺和La掺杂含量对SnO2薄膜结构、气敏特性的影响.结果显示:经T=550℃,t=45 min氧化、热处理后,得到n型金红石结构SnO2薄膜.适当掺La可改善SnO2薄膜结晶状况,掺La后SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善,在气体体积分数为1×10-2时,掺La(5%)的SnO2薄膜对乙醇的灵敏度为12;掺La(3%)的SnO2薄膜对丙酮的灵敏度可达到14.
用真空熱蒸髮兩步法在玻璃襯底製備SnO2和La摻雜SnO2薄膜.研究氧化、熱處理工藝和La摻雜含量對SnO2薄膜結構、氣敏特性的影響.結果顯示:經T=550℃,t=45 min氧化、熱處理後,得到n型金紅石結構SnO2薄膜.適噹摻La可改善SnO2薄膜結晶狀況,摻La後SnO2薄膜對氣體的選擇性和靈敏性均得到明顯的改善,在氣體體積分數為1×10-2時,摻La(5%)的SnO2薄膜對乙醇的靈敏度為12;摻La(3%)的SnO2薄膜對丙酮的靈敏度可達到14.
용진공열증발량보법재파리츤저제비SnO2화La참잡SnO2박막.연구양화、열처리공예화La참잡함량대SnO2박막결구、기민특성적영향.결과현시:경T=550℃,t=45 min양화、열처리후,득도n형금홍석결구SnO2박막.괄당참La가개선SnO2박막결정상황,참La후SnO2박막대기체적선택성화령민성균득도명현적개선,재기체체적분수위1×10-2시,참La(5%)적SnO2박막대을순적령민도위12;참La(3%)적SnO2박막대병동적령민도가체도14.
