光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2010年
4期
618-621
,共4页
李太平%李晓莹%虞益挺%燕斌%孙瑞康%乔大勇
李太平%李曉瑩%虞益挺%燕斌%孫瑞康%喬大勇
리태평%리효형%우익정%연빈%손서강%교대용
微机电系统%周期可调光栅%激光三角法%图像处理
微機電繫統%週期可調光柵%激光三角法%圖像處理
미궤전계통%주기가조광책%격광삼각법%도상처리
介绍了一种周期连续可调的微型可编程光栅.光栅采用静电梳齿驱动,不同驱动电压对应不同周期变化,从而引起特定级次衍射角发生变化.为了测得不同驱动电压下的衍射角变化,搭建了实验测量光学系统,利用激光三角法测量原理及图像处理的方法得出实验结果.测量结果与光栅测量参量计算角度变化基本一致,不同电压下的衍射角变化与不同的周期变化对应良好.
介紹瞭一種週期連續可調的微型可編程光柵.光柵採用靜電梳齒驅動,不同驅動電壓對應不同週期變化,從而引起特定級次衍射角髮生變化.為瞭測得不同驅動電壓下的衍射角變化,搭建瞭實驗測量光學繫統,利用激光三角法測量原理及圖像處理的方法得齣實驗結果.測量結果與光柵測量參量計算角度變化基本一緻,不同電壓下的衍射角變化與不同的週期變化對應良好.
개소료일충주기련속가조적미형가편정광책.광책채용정전소치구동,불동구동전압대응불동주기변화,종이인기특정급차연사각발생변화.위료측득불동구동전압하적연사각변화,탑건료실험측량광학계통,이용격광삼각법측량원리급도상처리적방법득출실험결과.측량결과여광책측량삼량계산각도변화기본일치,불동전압하적연사각변화여불동적주기변화대응량호.
