微电机
微電機
미전궤
MICROMOTORS SERVO TECHNIQUE
2011年
6期
31-34
,共4页
LED全自动固晶机%音圈电机%电磁场%有限元%实验
LED全自動固晶機%音圈電機%電磁場%有限元%實驗
LED전자동고정궤%음권전궤%전자장%유한원%실험
提出并设计了以音圈电机作为直接驱动的应用于半导体封装设备LED全自动固晶机摆臂系统Z轴的实现方案,以达到高速、高精度响应及节约成本.通过对固晶机摆臂系统Z轴动力学建模求得电机所需推力,以电磁场计算为基础,基于Ansoft建立音圈电机有限元模型,计算出磁感应强度的矢量分布,根据计算结果设计样机,并选择PI作为速度环控制器,PID作为位置环控制器的双环控制架构对样机进行实验研究.仿真和实验结果证明了设计方案的有效性.
提齣併設計瞭以音圈電機作為直接驅動的應用于半導體封裝設備LED全自動固晶機襬臂繫統Z軸的實現方案,以達到高速、高精度響應及節約成本.通過對固晶機襬臂繫統Z軸動力學建模求得電機所需推力,以電磁場計算為基礎,基于Ansoft建立音圈電機有限元模型,計算齣磁感應彊度的矢量分佈,根據計算結果設計樣機,併選擇PI作為速度環控製器,PID作為位置環控製器的雙環控製架構對樣機進行實驗研究.倣真和實驗結果證明瞭設計方案的有效性.
제출병설계료이음권전궤작위직접구동적응용우반도체봉장설비LED전자동고정궤파비계통Z축적실현방안,이체도고속、고정도향응급절약성본.통과대고정궤파비계통Z축동역학건모구득전궤소수추력,이전자장계산위기출,기우Ansoft건립음권전궤유한원모형,계산출자감응강도적시량분포,근거계산결과설계양궤,병선택PI작위속도배공제기,PID작위위치배공제기적쌍배공제가구대양궤진행실험연구.방진화실험결과증명료설계방안적유효성.
