仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2011年
11期
1-3
,共3页
介电泳%阻抗识别%三维%SU8阱
介電泳%阻抗識彆%三維%SU8阱
개전영%조항식별%삼유%SU8정
以微粒的阻抗识别为目的,设计出一种三维网格阵列微电极传感器.传感器将介电泳分离与阻抗识别集成在同一芯片上.首先通过介电泳将微粒中的一种分离至测试区域,再通过阻抗信号描述微粒特性.针对芯片关键区域,提出了调节SU8曝光时间以提高阻抗测试有效信号的工艺解决方案.实验表明,SU8最佳曝光时间为70 s.对芯片性能的相关实验表明,芯片可对不同直径的乳胶微粒进行介电泳分离与阻抗识别.
以微粒的阻抗識彆為目的,設計齣一種三維網格陣列微電極傳感器.傳感器將介電泳分離與阻抗識彆集成在同一芯片上.首先通過介電泳將微粒中的一種分離至測試區域,再通過阻抗信號描述微粒特性.針對芯片關鍵區域,提齣瞭調節SU8曝光時間以提高阻抗測試有效信號的工藝解決方案.實驗錶明,SU8最佳曝光時間為70 s.對芯片性能的相關實驗錶明,芯片可對不同直徑的乳膠微粒進行介電泳分離與阻抗識彆.
이미립적조항식별위목적,설계출일충삼유망격진렬미전겁전감기.전감기장개전영분리여조항식별집성재동일심편상.수선통과개전영장미립중적일충분리지측시구역,재통과조항신호묘술미립특성.침대심편관건구역,제출료조절SU8폭광시간이제고조항측시유효신호적공예해결방안.실험표명,SU8최가폭광시간위70 s.대심편성능적상관실험표명,심편가대불동직경적유효미립진행개전영분리여조항식별.
