太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2012年
2期
270-272
,共3页
叶发敏%冯仕猛%郭爱娟%熊胜虎
葉髮敏%馮仕猛%郭愛娟%熊勝虎
협발민%풍사맹%곽애연%웅성호
晶体硅%太阳电池%钝化%干氧氧化%表面复合
晶體硅%太暘電池%鈍化%榦氧氧化%錶麵複閤
정체규%태양전지%둔화%간양양화%표면복합
使用干氧热氧化的方法在晶体硅太阳电池表面生长SiO2钝化膜.结果表明:在780℃下生长的氧化薄膜钝化效果较好,实验检测少子寿命提高了8.3μs,以此为基础制备的太阳电池转换效率达到17.38%.实验还对氮气气氛下的氧化进行研究,发现当氮气流量为10L/min时,能强化薄膜的钝化效果,少子寿命可提高9.4μs.
使用榦氧熱氧化的方法在晶體硅太暘電池錶麵生長SiO2鈍化膜.結果錶明:在780℃下生長的氧化薄膜鈍化效果較好,實驗檢測少子壽命提高瞭8.3μs,以此為基礎製備的太暘電池轉換效率達到17.38%.實驗還對氮氣氣氛下的氧化進行研究,髮現噹氮氣流量為10L/min時,能彊化薄膜的鈍化效果,少子壽命可提高9.4μs.
사용간양열양화적방법재정체규태양전지표면생장SiO2둔화막.결과표명:재780℃하생장적양화박막둔화효과교호,실험검측소자수명제고료8.3μs,이차위기출제비적태양전지전환효솔체도17.38%.실험환대담기기분하적양화진행연구,발현당담기류량위10L/min시,능강화박막적둔화효과,소자수명가제고9.4μs.