现代仪器
現代儀器
현대의기
MODERN INSTRUMENTS
2012年
3期
11-15
,共5页
徐建%陆敏%朱丽娜%吴立敏
徐建%陸敏%硃麗娜%吳立敏
서건%륙민%주려나%오립민
纳米薄膜%薄膜制备%膜厚测量
納米薄膜%薄膜製備%膜厚測量
납미박막%박막제비%막후측량
纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景.本文综述当前纳米薄膜的制备技术,并针对这些成膜工艺,概括表征纳米薄膜厚度的常用方法.
納米薄膜材料是一種新型材料,由于其特殊的結構特點,使其作為功能材料和結構材料都具有良好的髮展前景.本文綜述噹前納米薄膜的製備技術,併針對這些成膜工藝,概括錶徵納米薄膜厚度的常用方法.
납미박막재료시일충신형재료,유우기특수적결구특점,사기작위공능재료화결구재료도구유량호적발전전경.본문종술당전납미박막적제비기술,병침대저사성막공예,개괄표정납미박막후도적상용방법.
