太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2012年
3期
506-510
,共5页
周潘兵%龚洪勇%陈泽文%汤斌兵%周浪
週潘兵%龔洪勇%陳澤文%湯斌兵%週浪
주반병%공홍용%진택문%탕빈병%주랑
多晶硅%氧%碳%沉淀
多晶硅%氧%碳%沉澱
다정규%양%탄%침정
实验结果显示,铸造多晶硅经1350℃加热1h后在高达10℃/s的速率下冷却仍会产生氧沉淀和热施主,生成氧沉淀的量和热施主的浓度在0.017～10℃/s范围内随冷却速率的增大而减少；与等温过程相比,连续冷却中的氧沉淀和热施主形成速率明显提高；碳在低至0.017℃/s冷却速率下也基本不发生沉淀析出.多晶硅片的少子寿命随冷却速率的增大而减小.基于硅中氧、碳的结构状态与扩散性质对上述沉淀动力学特征及其对多晶硅电学性能的影响进行了讨论.
實驗結果顯示,鑄造多晶硅經1350℃加熱1h後在高達10℃/s的速率下冷卻仍會產生氧沉澱和熱施主,生成氧沉澱的量和熱施主的濃度在0.017～10℃/s範圍內隨冷卻速率的增大而減少；與等溫過程相比,連續冷卻中的氧沉澱和熱施主形成速率明顯提高；碳在低至0.017℃/s冷卻速率下也基本不髮生沉澱析齣.多晶硅片的少子壽命隨冷卻速率的增大而減小.基于硅中氧、碳的結構狀態與擴散性質對上述沉澱動力學特徵及其對多晶硅電學性能的影響進行瞭討論.
실험결과현시,주조다정규경1350℃가열1h후재고체10℃/s적속솔하냉각잉회산생양침정화열시주,생성양침정적량화열시주적농도재0.017～10℃/s범위내수냉각속솔적증대이감소；여등온과정상비,련속냉각중적양침정화열시주형성속솔명현제고；탄재저지0.017℃/s냉각속솔하야기본불발생침정석출.다정규편적소자수명수냉각속솔적증대이감소.기우규중양、탄적결구상태여확산성질대상술침정동역학특정급기대다정규전학성능적영향진행료토론.
