高压物理学报
高壓物理學報
고압물이학보
CHINESE JOURNAL OF HIGH PRESSURE PHYSICS
2004年
3期
279-282
,共4页
滕林%杨邦朝%杜晓松%周鸿仁%崔红玲
滕林%楊邦朝%杜曉鬆%週鴻仁%崔紅玲
등림%양방조%두효송%주홍인%최홍령
锰铜薄膜%压阻系数%阵列式%热处理
錳銅薄膜%壓阻繫數%陣列式%熱處理
맹동박막%압조계수%진렬식%열처리
利用直流磁控溅射薄膜工艺制备阵列式薄膜锰铜压阻计,以氧化铝作为基片和绝缘封装材料.在结构上,4个具有相同阻值的薄膜锰铜计在同一氧化铝基片上呈对称分布.51.72 GPa压力下的动态加载实验表明,4个计的压阻一致性好,无高压旁路效应,验证了薄膜锰铜压阻计动态测试的准确性和可靠性.
利用直流磁控濺射薄膜工藝製備陣列式薄膜錳銅壓阻計,以氧化鋁作為基片和絕緣封裝材料.在結構上,4箇具有相同阻值的薄膜錳銅計在同一氧化鋁基片上呈對稱分佈.51.72 GPa壓力下的動態加載實驗錶明,4箇計的壓阻一緻性好,無高壓徬路效應,驗證瞭薄膜錳銅壓阻計動態測試的準確性和可靠性.
이용직류자공천사박막공예제비진렬식박막맹동압조계,이양화려작위기편화절연봉장재료.재결구상,4개구유상동조치적박막맹동계재동일양화려기편상정대칭분포.51.72 GPa압력하적동태가재실험표명,4개계적압조일치성호,무고압방로효응,험증료박막맹동압조계동태측시적준학성화가고성.
