半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2004年
9期
15-21,38
,共8页
吴丰顺%张金松%吴懿平%郑宗林%王磊%谯锴
吳豐順%張金鬆%吳懿平%鄭宗林%王磊%譙鍇
오봉순%장금송%오의평%정종림%왕뢰%초개
大规模集成电路%电迁移%互连引线
大規模集成電路%電遷移%互連引線
대규모집성전로%전천이%호련인선
随着大规模集成电路的不断发展,电迁移引起的集成电路可靠性问题日益凸现.本文介绍了电迁移的基本理论,综述了集成电路互连引线电迁移的研究进展.研究表明,互连引线的尺寸、形状和微观组织结构对电迁移有重要影响;温度、电流密度、应力梯度、合金元素及工作电流模式等也对电迁移寿命有重要影响.同时指出了电迁移研究亟待解决的问题.
隨著大規模集成電路的不斷髮展,電遷移引起的集成電路可靠性問題日益凸現.本文介紹瞭電遷移的基本理論,綜述瞭集成電路互連引線電遷移的研究進展.研究錶明,互連引線的呎吋、形狀和微觀組織結構對電遷移有重要影響;溫度、電流密度、應力梯度、閤金元素及工作電流模式等也對電遷移壽命有重要影響.同時指齣瞭電遷移研究亟待解決的問題.
수착대규모집성전로적불단발전,전천이인기적집성전로가고성문제일익철현.본문개소료전천이적기본이론,종술료집성전로호련인선전천이적연구진전.연구표명,호련인선적척촌、형상화미관조직결구대전천이유중요영향;온도、전류밀도、응력제도、합금원소급공작전류모식등야대전천이수명유중요영향.동시지출료전천이연구극대해결적문제.
