光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2004年
9期
53-56
,共4页
吴栋%朱日宏%陈磊%姬会东
吳棟%硃日宏%陳磊%姬會東
오동%주일굉%진뢰%희회동
移相干涉仪%外差振动测量%相位测量%微振%信号处理
移相榦涉儀%外差振動測量%相位測量%微振%信號處理
이상간섭의%외차진동측량%상위측량%미진%신호처리
对环境微振动干扰进行补偿可减小移相干涉测量的误差,其中振动量的检测是实现振动补偿的前提.以声光调制器作为光学移频器,在移相式平面干涉仪中组合成外差干涉测振系统,可以实现光程差微小变化(范围为0到1/2波长)的实时检测.在外差信号处理中采用单片RF/IF相位测量芯片直接对两路40MHz模拟信号进行比相,简化了通常使用的数字测相方法,其精确测相的典型非线性值小于1度.用该系统实际测量了周期性振动和地面冲击振动对干涉仪的影响,获得了干涉仪所受微振动的幅度和相位.
對環境微振動榦擾進行補償可減小移相榦涉測量的誤差,其中振動量的檢測是實現振動補償的前提.以聲光調製器作為光學移頻器,在移相式平麵榦涉儀中組閤成外差榦涉測振繫統,可以實現光程差微小變化(範圍為0到1/2波長)的實時檢測.在外差信號處理中採用單片RF/IF相位測量芯片直接對兩路40MHz模擬信號進行比相,簡化瞭通常使用的數字測相方法,其精確測相的典型非線性值小于1度.用該繫統實際測量瞭週期性振動和地麵遲擊振動對榦涉儀的影響,穫得瞭榦涉儀所受微振動的幅度和相位.
대배경미진동간우진행보상가감소이상간섭측량적오차,기중진동량적검측시실현진동보상적전제.이성광조제기작위광학이빈기,재이상식평면간섭의중조합성외차간섭측진계통,가이실현광정차미소변화(범위위0도1/2파장)적실시검측.재외차신호처리중채용단편RF/IF상위측량심편직접대량로40MHz모의신호진행비상,간화료통상사용적수자측상방법,기정학측상적전형비선성치소우1도.용해계통실제측량료주기성진동화지면충격진동대간섭의적영향,획득료간섭의소수미진동적폭도화상위.
