光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2006年
3期
467-470
,共4页
陈洪新%贾天卿%黄敏%赵福利%许宁生%徐至展
陳洪新%賈天卿%黃敏%趙福利%許寧生%徐至展
진홍신%가천경%황민%조복리%허저생%서지전
超快光学%烧蚀阈值%微加工%飞秒激光%光致电离%碰撞电离
超快光學%燒蝕閾值%微加工%飛秒激光%光緻電離%踫撞電離
초쾌광학%소식역치%미가공%비초격광%광치전리%팽당전리
利用10倍的显微物镜将近红外飞秒激光脉冲汇聚到宽带隙半导体材料6H SiC的前表面,研究样品的烧蚀及诱导微细结构.用扫描电镜(Scanning electron microscope,SEM)及光学显微镜测量烧蚀斑.利用烧蚀面积与激光脉冲能量的关系确定SiC的烧蚀阈值.给出了SiC样品的烧蚀阈值与飞秒激光波长的依赖关系.实验结果表明,可见光区随波长增加,烧蚀阈值从0.29 J/cm2增加到0.67 J/cm2;而在近红外区,SiC的烧蚀阈值为0.70 J/cm2左右,基本上不随激光波长变化而改变.结合计算结果,可以认为在飞秒激光烧蚀SiC的过程中,在近红外区,光致电离和碰撞电离均起到了重要的作用;而在可见光区,光致电离的作用相对大一些.
利用10倍的顯微物鏡將近紅外飛秒激光脈遲彙聚到寬帶隙半導體材料6H SiC的前錶麵,研究樣品的燒蝕及誘導微細結構.用掃描電鏡(Scanning electron microscope,SEM)及光學顯微鏡測量燒蝕斑.利用燒蝕麵積與激光脈遲能量的關繫確定SiC的燒蝕閾值.給齣瞭SiC樣品的燒蝕閾值與飛秒激光波長的依賴關繫.實驗結果錶明,可見光區隨波長增加,燒蝕閾值從0.29 J/cm2增加到0.67 J/cm2;而在近紅外區,SiC的燒蝕閾值為0.70 J/cm2左右,基本上不隨激光波長變化而改變.結閤計算結果,可以認為在飛秒激光燒蝕SiC的過程中,在近紅外區,光緻電離和踫撞電離均起到瞭重要的作用;而在可見光區,光緻電離的作用相對大一些.
이용10배적현미물경장근홍외비초격광맥충회취도관대극반도체재료6H SiC적전표면,연구양품적소식급유도미세결구.용소묘전경(Scanning electron microscope,SEM)급광학현미경측량소식반.이용소식면적여격광맥충능량적관계학정SiC적소식역치.급출료SiC양품적소식역치여비초격광파장적의뢰관계.실험결과표명,가견광구수파장증가,소식역치종0.29 J/cm2증가도0.67 J/cm2;이재근홍외구,SiC적소식역치위0.70 J/cm2좌우,기본상불수격광파장변화이개변.결합계산결과,가이인위재비초격광소식SiC적과정중,재근홍외구,광치전리화팽당전리균기도료중요적작용;이재가견광구,광치전리적작용상대대일사.
