CAJ | 학술논문

万方数据

中国科学技术大学学报 중국과학기술대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2007年 4期 509-513 ,共5页

王勇%张耀锋%尉伟%王建平%范乐%蒋道满%朱存宝%刘祖平

왕용%장요봉%위위%왕건평%범악%장도만%주존보%류조평

直流溅射%TiN膜%真空室镀膜%表面处理直流濺射%TiN膜%真空室鍍膜%錶麵處理
직류천사%TiN막%진공실도막%표면처리

在不锈钢管道溅射镀膜装置上,通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析,得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数.实验结果表明,在压强为80～90 Pa、基体温度为160～180 ℃的镀膜参数下,不锈钢管道内壁能获得符合加速器物理要求的TiN薄膜.
재불수강관도천사도막장치상,통과대불수강관도진공실진행천사도TiN막적반복다차실험급대도막실험결과적분석,득도료일정투괄용우가속기관도진공실내벽천사도TiN막적표면처리삼수.실험결과표명,재압강위80～90 Pa、기체온도위160～180 ℃적도막삼수하,불수강관도내벽능획득부합가속기물리요구적TiN박막.