功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2009年
1期
7-14
,共8页
MEMS%梳齿驱动器%侧向稳定性%预弯曲梁
MEMS%梳齒驅動器%側嚮穩定性%預彎麯樑
MEMS%소치구동기%측향은정성%예만곡량
文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试.梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现侧向稳定因子S,随支撑梁刚度比ky/kx以及梳齿间隙g的增加而增加,随梳齿交叠长度的增加而减小;而驱动器的驱动电压随梳齿间隙的增加而升高.在以上研究的基础上,提出了一种采用小间隙无初始交叠、长度线性递增梳齿结构和高纵/横向刚度比的预弯曲支撑梁结构的梳齿驱动器.器件测试结果表明,驱动电压71V时,可以达到100μm的驱动位移,进一步测试表明,驱动器的基模共振频率为573Hz,Q值为35.88.
文章提齣瞭一種大位移低驅動電壓的MEMS靜電梳齒驅動器,對器件進行瞭設計、模擬、製作以及測試.梳齒驅動器的側嚮不穩定性即側嚮吸閤現象限製瞭梳齒驅動器的最大驅動位移,髮現側嚮穩定因子S,隨支撐樑剛度比ky/kx以及梳齒間隙g的增加而增加,隨梳齒交疊長度的增加而減小;而驅動器的驅動電壓隨梳齒間隙的增加而升高.在以上研究的基礎上,提齣瞭一種採用小間隙無初始交疊、長度線性遞增梳齒結構和高縱/橫嚮剛度比的預彎麯支撐樑結構的梳齒驅動器.器件測試結果錶明,驅動電壓71V時,可以達到100μm的驅動位移,進一步測試錶明,驅動器的基模共振頻率為573Hz,Q值為35.88.
문장제출료일충대위이저구동전압적MEMS정전소치구동기,대기건진행료설계、모의、제작이급측시.소치구동기적측향불은정성즉측향흡합현상한제료소치구동기적최대구동위이,발현측향은정인자S,수지탱량강도비ky/kx이급소치간극g적증가이증가,수소치교첩장도적증가이감소;이구동기적구동전압수소치간극적증가이승고.재이상연구적기출상,제출료일충채용소간극무초시교첩、장도선성체증소치결구화고종/횡향강도비적예만곡지탱량결구적소치구동기.기건측시결과표명,구동전압71V시,가이체도100μm적구동위이,진일보측시표명,구동기적기모공진빈솔위573Hz,Q치위35.88.
